长期稳定性流量计 美国布鲁克斯Brooks 5860E
每条产品线都有主力设备型号 — 而我们的 5850E 和 5850i 系列热式质量流量控制器完全符合主力设备标准。该产品数十年来广泛用于世界各地的各种应用，其采用独有的超稳定流量传感器，能够实现可靠、准确、可重复的测量和控制以满足当今工业制造工艺苛刻的需求。特点长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计流量范围宽 - 从3 sccm 一直
- 型号： 5860E
每条产品线都有主力设备型号 — 而我们的 5850E 和 5850i 系列热式质量流量控制器完全符合主力设备标准。该产品数十年来广泛用于世界各地的各种应用，其采用独有的超稳定流量传感器，能够实现可靠、准确、可重复的测量和控制以满足当今工业制造工艺苛刻的需求。
特点
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
流量范围宽 - 从3 sccm 一直到1000 slpm
耐高压等级 - 高达 1,500 psi
可拆卸式流量传感器
不受安装角度影响
能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
电驱动阀超调
耐化学腐蚀阀门
优势
在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
由于性能可靠，因此投资回报率出众
采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | .003 - 1000 slpm |
| 精度范围 | 1% of FS, 1.5% of FS > 20 slpm |
| 调节比 | 50:1 |
| 重复性 | 0.25% of rate |
| 最大压力 | 1500 psi |
| 工作温度 | 5°C - 65°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 1000 slpm |
| 最大工作压力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（满量程） | ±1% FS, ±1.5% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |