美国布鲁克斯Brooks 大口径气体流量计 5863E
优势在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性由于性能可靠，因此投资回报率出众采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养特点长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计流量范围宽 - 从3 sccm 一直到1000 slpm耐高压等级 - 高达 1,500 psi可拆
- 型号： 5863E
优势
在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
由于性能可靠，因此投资回报率出众
采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养
特点
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
流量范围宽 - 从3 sccm 一直到1000 slpm
耐高压等级 - 高达 1,500 psi
可拆卸式流量传感器
不受安装角度影响
能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
电驱动阀超调
耐化学腐蚀阀门
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | .003 - 1000 slpm |
| 精度范围 | 1% of FS, 1.5% of FS > 20 slpm |
| 调节比 | 50:1 |
| 重复性 | 0.25% of rate |
| 最大压力 | 1500 psi |
| 工作温度 | 5°C - 65°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 1000 slpm |
| 最大工作压力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（满量程） | ±1% FS, ±1.5% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |