美国布鲁克斯 Brooks 质量流量控制器 CG50-X004
功能与优势 BCAT软件的现场验证与重新校准：最小化备件库存。减少停机时间。确保系统按计划运行。宽控制范围，100:1调节比，全量程覆盖：单台设备即可满足更多工况需求。简化设计并减少SKU数量。稳定、可重复的性能，精度达1.5%满量程±0.5%满量程±0.25%重复性：为实验室和中试应用提供可靠的流量控制，无需高昂平台成本。卓越的阀门关闭性能，泄漏量<0.005 sccm：提升工艺完整性，关
- 型号： CG50-X004
功能与优势
BCAT软件的现场验证与重新校准：最小化备件库存。减少停机时间。确保系统按计划运行。
宽控制范围，100:1调节比，全量程覆盖：单台设备即可满足更多工况需求。简化设计并减少SKU数量。
稳定、可重复的性能，精度达1.5%满量程±0.5%满量程
±0.25%重复性：为实验室和中试应用提供可靠的流量控制，无需高昂平台成本。卓越的阀门关闭性能，泄漏量<0.005 sccm：提升工艺完整性，关闭时减少非预期气体流动。
简单集成，模拟I/O + Modbus RTU（RS-485)：可轻松集成至新旧控制系统，无需增加复杂性。
安全区域认证与全球合规：支持实验室及OEM系统的全球部署与法规符合性。
应用程序
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|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 210 - 5000 sccm |
| 精度范围 | 1.5% of S.P. ±0.5% of F.S. |
| 重复性 | ±0.25% S.P |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 0 - 50°C |
| 密封选项 | Elastomer |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 5000 sccm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 连接方式 | RS485, Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), Analog (4–20 mA) |