日本 MIYUKI 美幸辉 L-J65 超薄高流导气动真空闸阀

产品概述

核心规格参数

1. 法兰标准：JIS J65，DN65 通径

2. 真空适用区间：常压 10⁵Pa 至高真空 1×10⁻⁵Pa，覆盖粗抽、高真空全工况

3. 泄漏指标：阀体壳体泄漏≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，阀杆轴封泄漏≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s，满足氦气检漏标准

4. 材质配置：介质接触面 SUS304 真空钎焊抛光不锈钢，阀板阀体采用铝合金轻量化设计；阀座、阀杆双密封采用氟橡胶 FKM O 型圈，耐真空老化、有机溶剂腐蚀

5. 气动驱动参数：驱动气源压力 0.4~0.6MPa，匹配工厂通用气源；标配磁性接近开关，可实时反馈阀门全开、全闭信号，接入 PLC 实现自动化联锁控制

6. 安装特性：阀体超薄厚度，无安装角度限制，立式、卧式、侧向均可灵活装配；内部无死角腔体，低气体析出

核心亮点：超薄机身 + 超高流导排气性能

1. 超薄面间紧凑结构

   相比传统闸阀大幅缩短阀体厚度，大幅缩减真空管路占用空间，便于多腔体、密集管路设备集成布局，同时优化内部流道结构，全开状态下气流阻力极低，实现高流导，提升腔体抽真空、破空排气效率低发尘洁净构造

2. 阀板仅在密封贴合时与阀体接触，启闭行程其余阶段无摩擦接触，最大程度减少微粒粉尘产生，满足半导体、光学膜等高洁净制程要求；不锈钢内腔真空钎焊成型，无死角、低释气，适配高真空长期运行。

3. 球压式均衡密封，优异抗背压能力

   阀座采用等间距钢球均匀压紧密封结构，正向、反向压差（大气 / 真空背压）工况下密封受力均匀，不会出现密封偏移、漏气，腔体破空、反向承压工况下密封稳定性强。

产品核心优势