MIYUKI美幸辉 真空蝶阀 双气缸齿轮驱动 G-I100

日本 MIYUKI 美幸辉 G-I100 双气缸齿轮驱动气动伺服真空蝶阀

产品概述

G-I100 为美幸辉 G 系列 ISO-I100 法兰气动伺服蝶阀，DN100 通径，搭载双气缸齿轮齿条驱动结构，依靠洁净压缩空气实现 0°~90° 全行程无级开度调节，无需电机供电，适配半导体、光学镀膜、锂电池真空腔体稳压、载气微量节流工艺。气缸末端内置气垫缓冲，启闭冲击小，低发尘洁净结构满足高真空量产需求。

核心规格参数

法兰标准：ISO-I100 标准法兰，DN100 通径，无安装角度限制，立式、卧式、侧向均可装配

真空适用区间：标准大气压 1×10⁵Pa 至高真空 1×10⁻⁶Pa，适配粗抽、精密稳压全工艺工况

泄漏指标：阀体壳体漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座密封漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，阀杆双层 FKM 氟橡胶轴封，双向压差无渗漏

材质配置：阀体、蝶板、阀杆整体 SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光，无死角、低气体析出；标配 FKM 氟橡胶密封，耐受有机溶剂、电解液腐蚀，强腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚密封圈

驱动系统：双气缸齿轮齿条传动结构，气源适配 0.4~0.6MPa 干燥洁净压缩空气；气缸行程两端自带气垫缓冲，内置角位移传感器实时反馈阀位，闭环控制任意开度稳定锁止无漂移

使用温度：阀体长期工作温度 - 30℃~120℃，气缸环境耐受上限 40℃；启闭循环使用寿命超十万次

流导性能：超薄阀体面间结构，内腔流线无阻挡，全开气流阻力极低，抽真空、排气速度快，缩短工艺等待节拍

核心结构亮点：双气缸齿轮齿条驱动

采用双气缸搭配精密齿轮齿条传动机构，传动无间隙、输出推力充足，相比单气缸结构，开度调节响应更快、锁止力度更强；搭配内置气垫缓冲，阀门开合至极限位置时空气缓冲抵消金属撞击，降低运行噪音，减少密封件冲击损耗，延长密封圈使用寿命