MIYUKI美幸辉 GH-J100 气动真空阀 无姿态限制安装
2026-07-29 15:24:43
admin
日本 MIYUKI 美幸辉 GH-J100 气动真空闸阀
产品概述
GH-J100 为 GH 系列 DN100 气动二段式真空闸阀，标配 JIS 日标法兰，核心优势为无姿态限制安装，立式、卧式、侧向任意角度均可装配，适配设备紧凑复杂管路布局。阀门搭载副气缸开度调节结构，单阀兼顾主排气与流量分段调控，气缸自带气垫缓冲减震，球面均压密封可耐受正反压差，低放尘洁净构造适配半导体、光学镀膜、锂电等高真空精密产线。
核心规格参数
法兰规格：JIS J100 标准法兰，DN100 通径，可兼容 ISO、CF、KF 法兰定制
真空适用区间：常压 1×10⁵Pa 至超高真空 1×10⁻⁶Pa，覆盖粗抽、稳压、分段破空全工艺流程
泄漏性能：阀体外壳泄漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座密封泄漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检达标高端真空设备验收标准
材质配置：阀体、阀板采用镜面电解抛光 SUS304 不锈钢，真空钎焊一体成型，内腔无积气死角；标配 FKM 氟橡胶 O 型圈，强腐蚀工况可更换全氟醚密封件
气动驱动：适配 0.4~0.6MPa 洁净无油压缩空气；主气缸关阀推力倍增，行程两端内置空气缓冲；副气缸可自由设定任意中间开度，实现快慢两段排气控制
安装特性：无安装姿态、流向限制，水平、垂直、斜向管路通用装配，无需调整阀体结构即可适配各类设备管路走向
配套功能：标配机械式阀位感应开关，实时反馈全开、全关信号，可直接对接 PLC 系统实现自动化联锁控制；整机在无尘车间完成组装与单台氦质谱检漏
核心产品亮点
1. 全姿态无限制安装，适配复杂设备布局
阀体与气缸结构经过优化设计，不受安装角度、管路方向约束，立式垂直管路、卧式水平管路、侧向斜向管路均可直接装配，设备内部狭小、多层交错管路无需定制转接配件，大幅降低设备管路设计、装配改造难
