MIYUKI美幸辉 GH-I320 耐腐密封 一体式不锈钢阀体
2026-07-29 15:31:49
admin
日本 MIYUKI 美幸辉 GH-I320 大口径气动真空闸阀
产品概述
GH-I320 属于 GH 系列大流量可调气动闸阀，采用 ISO-I320 标准法兰，DN320 超大通径。整机采用一体式 SUS304 不锈钢阀体，搭配耐腐氟橡胶密封结构，兼顾大通流排气、双向耐压密封、低放尘洁净特性。阀门配备主气缸 + 独立调节副气缸，单阀可实现管路切断、大流量抽气、分段限流，气缸自带气垫缓冲减震，无安装姿态限制，适配大型半导体镀膜、锂电真空炉、化工腐蚀介质高真空腔体。
核心规格参数
法兰规格：ISO-I320 标准法兰，DN320 大通径，立式、卧式、斜向无姿态限制安装，无介质流向约束。
真空适配区间：常压 1×10⁵Pa 至超高真空 1×10⁻⁶Pa，覆盖粗抽、稳压、分段破空全工艺流程。
泄漏性能：壳体漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座密封漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，全数氦质谱检漏达标高端真空设备验收标准。
阀体与防腐密封：阀体、阀板为一体式 SUS304 不锈钢，真空钎焊一体成型，内腔电解镜面抛光，无积气死角、基材低气体析出；标配 FKM 氟橡胶密封件，耐受电解液、有机溶剂、弱酸弱碱腐蚀，强腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚密封圈.。
气动驱动配置：双气缸组合驱动，气源适配 0.4~0.6MPa 干燥洁净压缩空气；关阀瞬间推力倍增，行程两端内置空气缓冲减震；副气缸可自由设定任意中间开度，实现快慢两段排气控制；配备机械式阀位感应开关，全开、全关信号可直接对接 PLC 完成自动化联锁。
使用寿命与环境：长期工作温度 - 20℃~120℃，气缸环境耐受上限 40℃，百万次启闭循环使用寿命。
核心产品亮点
1. 一体式不锈钢阀体，结构坚固低释气
阀体整体不锈钢真空钎焊一体化成型，无分体拼接缝隙，结构刚性强、抗冲击；内腔镜面抛光处理，无藏气死角，气体释放速率极低，满足百级洁净真空工艺要求，长期高真空运行压力稳定无波动。
2. 氟橡胶耐腐密封，双向承压零泄漏
采用等间距钢球多点均衡压紧密封结构，搭配耐腐蚀氟橡胶 O 型圈，正向真空、反向大气背压工况下密封面贴合均匀，无惧腔体背压冲击、腐蚀介质侵蚀，长时间连续保压无泄漏，适配频繁分段破空、腐蚀工艺真空管路。
3. 双气缸两段流量调节，一阀多用
内置独立副调节气缸，可自定义阀门中间开度，破空初期小开度慢速预排气，缓慢平衡腔体内外压差，避免气流冲击划伤晶圆、光学膜、锂电电芯；压差平衡后阀门全开，DN320 超大通流实现快速泄压，一台阀门替代切断阀 + 节流阀两套设备，简化管路布局、降低采购成本
