日本 MIYUKI 美幸辉 BR-I63 真空制程专用气动蝶阀

产品概述

核心规格参数

1. 法兰规格：ISO-I63 标准法兰，DN63 通径，无安装姿态、介质流向限制，卧式、立式、斜向管路均可装配。

2. 气源适配：0.4~0.6MPa 干燥无油洁净压缩空气，双作用气缸，支持常开、常闭两种配置可选。

3. 真空适用区间：常压 1×10⁵Pa 至高真空 1×10⁻⁵Pa，适配腔体粗抽、保压、工艺隔断全工况。

4. 泄漏性能：阀座密封漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆双层轴封外漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，双向耐受真空负压与大气背压，无渗漏。

5. 阀体材质：阀体、阀瓣整体 SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，无藏气死角，基材气体析出量极低，无镀层污染风险。

6. 密封配置：标配耐水汽、有机挥发介质氟橡胶密封件；腐蚀工艺可升级全氟醚密封，耐受卤素、酸碱腐蚀气体。

7. 配套选配：可加装阀位感应开关，向 PLC 反馈全开、全关信号；可选气缸内置气缓冲结构，降低启闭撞击噪音，减少密封件磨损。

8. 使用寿命：常规工况启闭循环寿命≥50 万次，整机百级无尘车间组装、逐台氦质谱检漏出厂。