日本 MIYUKI 美幸辉 AB-N16 气动 L 形真空阀（可承受反向压力）

产品概述

核心规格参数

1. 法兰规格：KF (NW) 16 快拆卡箍法兰，拆装无需专用工具，可按需更换 JIS、CF 法兰接口

2. 真空工作区间：1×10⁵Pa（常压）~1×10⁻⁷Pa 超高真空

3. 泄漏指标：整机外漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，正反压差无渗漏

4. 气源条件：0.4~0.6MPa 干燥无油洁净压缩空气；DN16 小口径支持单作用弹簧复位、双作用两种气缸模式，可定制常开 / 常闭

5. 材质与密封

• 阀体：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，无积气死角、低气体析出

• 轴封：SUS316L 多层一体焊接金属波纹管，隔离真空腔与大气侧

• 阀座密封：FKM 氟橡胶，耐受水汽、常规酸碱、镀膜工艺气体

6. 温度性能：阀体支持 200℃整体高温烘烤除气；气缸部位耐温上限 70℃，不可烘烤气缸

7. 选配配件：DC24V 配套电磁阀、NPN/PNP 磁感应阀位反馈开关，可直连 PLC 实现自动化联控

8. 使用寿命：标准工况循环启闭寿命可达 50 万次