MIYUKI日本美幸辉 一体式不锈钢真空闸阀 ABR-C40
2026-07-29 16:22:55
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五大核心产品亮点
1. 全规格双向承压密封，无惧反向压力冲击
全系口径均可实现正反压差可靠密封，无论压力来自真空侧还是大气侧，阀门完全关闭时阀座均可紧密贴合，腔体破空、压力反向冲击时不会出现漏气，适配分子泵、真空腔体频繁启停工况。
2. 金属波纹管轴封，高纯洁净无粉尘析出
采用一体焊接 SUS316L 金属波纹管作为阀杆密封，区别于普通 O 型圈轴封，阀杆往复运动无橡胶滑动摩擦，不会产生橡胶粉尘、有机挥发物，杜绝污染晶圆、光学薄膜等高洁净精密工件。
3. L 型平滑内腔，流阻低、抽气效率高
直角 L 型阀体内部流道平滑无凸起死角，气体流通阻力小，可加快腔体抽真空速度，缩短工艺等待时间，适配各类需要快速抽气的真空管路。
4. 单 / 双作用气缸可选，适配多元气路设计
DN16 小口径兼容单作用弹簧复位、双作用气缸两种驱动形式，可根据产线气路布局自由选择常开、常闭模式，设备改造、自动化产线适配性更强。
5. 全姿态无限制安装，适配狭小设备空间
阀体结构不受安装角度、管路走向约束，立式、卧式、斜向、倒置管路均可直接装配，无需定制转接法兰，完美适配真空炉多层交错、密闭狭小的管路安装点位。
产品核心优势
双向耐反压密封结构，真空 / 大气侧压差均可严密保压，适配频繁破空真空系统；
金属波纹管无摩擦轴封，低放气、零微粒析出，满足半导体、光学镀膜超高洁净工艺；
支持 200℃高温整体烘烤除气，极限真空可达 10⁻⁷Pa，适配科研实验室超高真空设备；
KF16 快拆法兰拆装便捷，气缸驱动搭配可选阀位信号反馈，可接入全自动真空产线 PLC 控制系统；
模块化密封配件，现场更换氟橡胶阀座密封圈无需拆解整机，缩短产线停机维保时长。
典型应用场景
半导体、OLED、光伏薄膜沉积设备，分子泵前端、真空腔体粗抽管路自动隔断阀；
高校、科研院所材料实验、表面分析、薄膜沉积超高真空实验设备；
干式真空泵、小型真空管式炉、真空脱气设备洁净真空管路通断阀门。
