MIYUKI日本美幸辉 SE-N16电动真空阀 大通流低流阻

核心产品亮点

1. SUS316L 阀体 + 全氟醚密封，适配高温腐蚀气体

   区别常规 304 不锈钢阀门，阀体采用耐蚀 SUS316L 材质，搭配耐化学腐蚀全氟醚密封，可长期接触高温酸性、镀膜工艺腐蚀气体，不易腐蚀老化，适配腐蚀工艺真空系统。

2. 最高 200℃耐高温设计，支持腔体高温烘烤

   阀体整体耐高温结构，可长期承受 200℃高温环境，能够跟随真空腔体同步高温烘烤除气，去除腔体内部吸附气体，保障设备极限真空度。

3. 失气常闭安全结构，防止腐蚀介质回流污染腔体

   阀门断气、设备故障停机时，内部弹簧自动推动闸板完全闭合，彻底切断管路，避免高温腐蚀气体、真空泵油反向回流进入真空腔体，保护腔体内部工件不受腐蚀污染。

4. 闸阀式大通流流道，抽气阻力小

   内部直通式闸板流道，无多余阻挡结构，气体流通阻力低，通导性能优异，不会拖累腔体抽真空速度，兼顾切断密封性与抽气效率。

5. KF 快拆法兰 + 全姿态安装，狭小设备空间适配

   标准 NW25 快拆卡箍法兰，无需专用工具即可快速拆装、清洗、更换密封件；阀体无安装角度限制，立式、卧式、斜向、倒置管路均可装配，适配设备内部狭小、多层交错管路布局。

产品核心优势

1. 耐高温耐腐蚀专用配置，316L 不锈钢与全氟醚密封适配腐蚀、高温工艺；

2. 可 200℃高温烘烤除气，低放气，满足高洁净真空制程；

3. 失气自动闭合安全结构，停机阻断腐蚀介质回流，设备运行安全性更高；

4. 直通闸阀大通流结构，气流损耗低，缩短腔体抽真空时长；

5. KF 标准快拆法兰，拆装维保简单，阀体支持任意角度安装；

6. 气动驱动可加装阀位信号反馈，可联动全自动真空生产线控制系统。

典型应用场景

1. 半导体、OLED、光伏薄膜沉积设备，含腐蚀工艺气体高温真空管路切断；

2. 精细化工、材料研发高温腐蚀气体管式真空炉、样品处理腔体；

3. 高校科研实验室腐蚀材料、高温气相反应超高真空实验设备；

4. 各类需要高温烘烤、介质具备酸碱腐蚀性的工业真空机组管路隔断。