MIYUKI日本美幸辉 SG-C1 真空阀 缓冲减震无抖动

核心产品亮点

1. 微型紧凑小型化阀体，适配狭小安装空间

   整机体积小巧轻量化，专为真空计旁路、微型真空管路设计，不占用设备内部有限空间，可直接集成在腔体侧壁、真空规探头前端。

2. 金属波纹管无摩擦轴封，高洁净无粉尘污染

   采用一体焊接成型金属波纹管完全隔离阀杆与真空腔体，阀杆往复运动无橡胶滑动摩擦，不会产生橡胶碎屑、有机挥发物，内腔镜面抛光低放气，杜绝晶圆、光学样品、薄膜工件污染，满足半导体高纯制程标准。

3. 失气常闭安全结构，停机阻断大气倒灌

   设备断气、故障停机时，内部弹簧自动推动阀瓣完全闭合，彻底切断真空腔体与大气管路，避免空气、水汽反向进入腔体，保护腔体内部工件与真空规传感器。

4. 全金属主体适配超高真空，可搭配多种真空计接头

   除密封胶圈外全部金属构件，出气量极低，极限真空可达 10⁻⁷Pa；提供 NW、CF、VCR、卡套等五种标准接头，可匹配市面各类真空测量探头，安装适配性极强京都玉崎。

5. 全姿态无限制安装，维保便捷

   阀体无安装角度约束，水平、垂直、倒置、斜向管路均可直接装配；模块化密封配件，现场更换氟橡胶 O 圈无需整机拆解，缩短设备停机维保时长。

产品核心优势

1. 微型小型波纹管截止阀，真空计专用切断阀，结构紧凑不占地；

2. 金属波纹管轴封无摩擦发尘，不锈钢低放气腔体，适配超高洁净高真空工艺；

3. 失气自动闭合安全结构，防止大气倒灌污染腔体与检测元件；

4. 多规格接头可选，兼容各类真空规、微型腔体管路；

5. 气动驱动可加装阀位信号反馈，适配全自动真空设备控制系统；

6. 最高 150℃耐温，可配合腔体低温烘烤除气，稳定维持极限真空度。

典型应用场景

1. 高校、科研实验室各类真空计、规管前端隔离切断阀门；

2. 半导体、OLED、光伏薄膜沉积设备微型旁路真空切断；

3. 小型真空管式炉、样品脱气、表面分析超高真空实验设备；

4. 精密光学镀膜、锂电小型研发真空腔体真空测量管路隔断。