MIYUKI日本美幸辉 电机直接驱动无反冲阀门 BAZ-C100
2026-07-29 16:50:16
admin
日本 MIYUKI 美幸辉 BAZ-C100 电机直驱无反冲高真空伺服蝶阀
产品概述
BAZ-C100 属于美幸辉 BAZ 系列数字定点伺服蝶阀，型号中 C 代表 CF 刀口金属密封法兰，100 代表 DN100 通径。产品采用伺服电机直接连接阀轴驱动，无齿轮传动结构，彻底消除传动间隙、无反冲，搭配绝对式位置传感器，适配常压至 1×10⁻⁵Pa 高真空工况，需配套原厂 MS-PC 开度控制器使用，多用于卷绕镀膜、真空热处理、氦检设备分段稳压、阶梯泄压工艺。
核心规格参数
法兰规格：CF100 刀口无氧铜金属密封法兰，支持高温烘烤除气
公称通径：DN100（100A）
驱动方式：伺服电机直连阀轴，无齿轮减速，零背隙无反冲
真空适用区间：1×10⁵Pa ~ 1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏指标：阀体内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆双层轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
阀体材质：SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，低放气低析出
密封配置：标配 FKM 氟橡胶密封，可升级全氟醚密封适配腐蚀工艺气体
位置检测：绝对式原点记忆传感器，断电保存开度，上电无需复归原点
断电保护：内置电磁制动器，断电自动锁止当前阀位，不会自行开合
运行噪音：启闭动作静音设计，无金属撞击异响
