BAZ-I80 优异排气特性的闸阀 MIYUKI日本美幸辉
核心产品亮点
电机直接驱动无齿轮，完全无反冲、无开度漂移
取消传统齿轮减速传动，电机与阀轴直连，不存在齿轮间隙带来的回程误差，微小开度调节线性稳定，每一档工艺开度重复一致性极强，量产工艺参数波动极小
绝对式传感器原点记忆，简化设备重启流程
区别增量式传感器，断电后永久记忆阀门当前开度，设备停机重启无需执行原点复归动作，缩短产线重启等待时间，规避原点复归时气流冲击工件的风险。
低发尘洁净结构，适配半导体、光学无尘制程
阀体内部无金属相互滑动摩擦部件，运转过程极少产生金属颗粒；不锈钢内腔镜面抛光，无积气死角、气体析出量低，满足高洁净真空生产标准，避免晶圆、光学薄膜出现颗粒不良化工仪器网。
CF 金属刀口密封，支持腔体高温烘烤除气
CF100 刀口法兰搭配无氧铜金属密封，耐高温性能优异，可跟随真空腔体同步高温烘烤，有效去除腔体吸附气体，稳定维持超高真空度，长期保压无真空度衰减。
断电锁止保护设计，杜绝腔体突发进气报废工件
设备断电、控制信号丢失时，内置电磁抱闸立刻锁死阀轴，阀门维持当前开度不变，不会全开或全关，防止大型真空腔体突然大量进气，保护腔体内晶圆、镀膜工件不受污染损坏。
全姿态自由安装，适配设备狭小管路布局
阀体无安装角度限制，立式、卧式、侧向、倒置管路均可直接装配，阀体结构紧凑，适配镀膜机、热处理炉内部夹层狭小安装空间。
产品核心优势
伺服直驱零背隙结构，开度控制精度高、工艺重复性好，适配分段破空、阶梯稳压量产工艺；
CF 金属密封耐高温可烘烤，低泄漏指标满足半导体、镀膜设备氦检验收标准；
低发尘、低释气洁净构造，适配无尘高洁净真空产线；
绝对式位置记忆 + 断电电磁锁止，设备运行安全稳定，降低工艺报废风险；
静音启闭、全角度安装，适配各类大型高真空腔体主管路流量调节；
模块化密封配件，现场更换密封圈无需整机拆解，维保便捷，缩短设备停机时长。
