MIYUKI日本美幸辉 GAR-J100B 不锈钢气动控制蝶阀
五大核心产品亮点
100 档数字定点开度,工艺重复性极强
全行程均匀拆分 100 个固定档位,每一档开度位置固定无漂移,每次生产工艺开度完全一致,有效消除流量波动,适配光学镀膜、锂电烘烤、真空热处理标准化量产工艺。
手动 / 远程自动双操控模式,适配各类产线布局
设备面板可独立完成档位设定、阀门启闭,无上位控制系统也可单机运行;同时支持 I/O 数字信号远程控制,可集成全自动真空生产线,实现整套设备联动时序控制。
断电锁止保护设计,保障腔体与工件安全
设备意外断电、信号中断时,配套 BAZ/GAZ 阀门自带电磁抱闸锁死阀轴,维持当前开度不变,不会自动全开或全关,杜绝大型真空腔体瞬间进气,保护腔体内薄膜、晶圆、锂电材料不受污染损坏。
一机两用,兼顾可变流导调节与管路全切断
搭配伺服阀门后,既可精准调节排气管路气体通导、稳定腔体真空流量,也可一键控制阀门完全闭合,彻底切断真空管路,兼顾工艺调压与设备检修隔离双重需求。
紧凑型箱体结构,安装调试便捷
整机体积小巧,箱体为标准工业控制盒结构,可安装于设备控制柜内;面板操作逻辑直观,数字档位设置简单,配套专用调试软件可快速修改设备内部运行参数,设备运维、调试效率高。
产品核心优势
数字档位定点控制,开度定位精准,量产工艺一致性高,无开度漂移问题;
本地手动 + 上位 I/O 远程双控制,单机、全自动产线均可适配;
断电电磁锁阀安全机制,有效规避真空腔体突发进气带来的工件报废风险;
适配 BAZ、GAZ 全系列定点伺服真空阀,可配套各口径 CF、ISO 法兰真空阀门;
箱体小巧节省安装空间,操作直观,配套调试软件,设备维护、参数修改简单。
典型应用场景
光学镜片、光伏、OLED 卷绕镀膜设备,腔体分段缓慢破空、载气固定流量调节;
锂电材料真空烘烤、大型真空脱泡炉阶梯泄压、固定真空度工艺管控;
真空热处理炉、气相沉积实验腔体,标准化量产分段流量控制;
高校、科研院所大型超高真空实验设备,固定开度、分段泄压实验工况。

