SWAGELOK世伟洛克 ALD20 快开快关大流量气动超高纯波纹管阀

产品简介

ALD20系列为世伟洛克大流量高速气动波纹管阀，面向ALD原子层沉积工艺开发，主打快开快关高频脉冲动作，阀体可选316L VIM‑VAR真空重熔不锈钢或Alloy22哈氏合金，Alloy22高抛光波纹管（Ra≈5μin），高纯PFA阀座，执行SC‑01超高纯清洗规范。阀门与执行机构可整体浸入高温气箱，无需隔离执行器；开启时间＜10ms，总响应＜30ms，流量系数最高Cv=1.7，是传统ALD阀门的2‑3倍流通能力；支持常闭气动驱动，真空‑20psig工艺压力，适配大流量、易冷凝、腐蚀性前驱体脉冲通断，兼容VCR、对焊、MSM模块化C‑密封多种接口，可直接兼容多数现有设备安装底座，减少改造成本。

工作原理

波纹管隔离式气动常闭结构，无驱动气源时，执行机构输出力下压波纹管压紧PFA阀座，阀门保持关闭；通入70‑90psig洁净驱动气源，活塞抬升，波纹管回弹实现阀门开启；切断气源自动复位关闭，具备失气故障安全保护逻辑。 介质仅接触阀体、合金波纹管、PFA阀座，驱动部件完全隔离介质流道，无填料函，杜绝阀杆外泄漏；全扫掠无死区流道，高温浸泡工况下吹扫置换彻底，长周期脉冲循环流量波动＜±3%，保障前驱体剂量重复精度。

核心产品特点

1. 快开快关高速脉冲性能，阀门开关时间＜10ms，总响应＜30ms，支持高频百万‑千万次循环，流量一致性优异，满足大剂量ALD脉冲给药需求。

2. 超大流通能力，MSM平台Cv=1.2；直通款最高Cv=1.7，远高于ALD3/ALD6/ALD7系列，提升前驱体供给效率；支持工厂定制Cv档位。

3. 整机可高温浸泡，阀体与执行机构可整体浸入气箱，工作温度10‑200℃，不需要单独隔离执行器，热稳定性好，抑制前驱体冷凝析出，提升薄膜沉积均匀度。

4. 双重阀体材质可选，标准316L VIM‑VAR；强腐蚀工况选用Alloy22哈氏合金阀体+波纹管，耐强腐蚀工艺介质，波纹管高抛光低颗粒析出，适配UHP超高纯系统SC‑01清洗标准。

5. 多接口多流道构型，支持1/2in VCR内外螺纹、卡套管对焊、MSM C‑密封表面安装；直通、弯通、二通/三通/四通多通阀组可选；1.5英寸标准安装底座，可直接替换老款ALD阀门，无需大幅改机台。

6. 安全与扩展能力，爆破压力3200psig（220bar）；氦质谱检漏；可选高温型阀位反馈传感器，向PLC回传阀门开关状态，可配套先导电磁阀实现电控切换。

主要技术参数

• 型号：ALD20系列气动波纹管阀

• 驱动方式：气动，常闭NC（失气关闭）

• 阀体材质：316L VIM‑VAR不锈钢 / Alloy22哈氏合金可选

• 波纹管材质：Alloy22，抛光Ra 5μin

• 阀座材质：高纯PFA

• 流量系数Cv：1.2（MSM） / 1.7（直通），支持定制Cv

• 工艺压力：真空 ~ 20 psig（1.4 bar）

• 爆破压力：3200 psig（220 bar）

• 工作温度：10℃ ~ 200℃，阀体执行器可整体浸泡加热

• 驱动气源压力：70‑90 psig（4.9‑6.2 bar）洁净干燥气源

• 开关速度：开关＜10ms，总响应时间＜30ms

• 清洗标准：SC‑01超高纯清洗

• 泄漏指标：氦质谱检漏

• 接口形式：1/2in VCR内外螺纹、卡套管对焊、MSM C‑密封模块化表面安装

• 可选配件：高温阀位反馈传感器、先导电磁阀

• 认证：CE

典型应用场景

半导体ALD原子层沉积大流量前驱体气路；薄膜沉积设备高速脉冲气体控制；低蒸气压易冷凝腐蚀性工艺气体管路；显示、光伏大流量特种气体供给；锂电新材料工艺气路；老设备升级改造；超高纯气源面板模块。