SWAGELOK世伟洛克 ALD7 耐强腐蚀超高纯气动隔膜阀

2026-09-04 10:36:52 admin

SWAGELOK世伟洛克 ALD7 耐强腐蚀超高纯气动隔膜阀

产品简介

ALD7是世伟洛克新一代高频高温超高纯气动隔膜阀，作为ALD6T升级型号，阀体采用316L VIM‑VAR真空感应熔炼真空重熔不锈钢，钴基超级合金隔膜、高纯II型PFA全氟阀座，SC‑01超高纯清洗。集成热隔离结构，阀体最高200℃、执行器耐受150℃，阀体预留加热棒安装孔，支持伴热防前驱体冷凝；流量系数Cv达0.7，流通能力优于ALD6T，毫秒级高速脉冲切换，上亿次循环寿命，强耐腐蚀性气体，接口支持VCR、卡套管对焊、C‑密封表面安装，用于半导体ALD设备腐蚀性前驱体管路切断，兼容新旧设备改造集成。

工作原理

气动常闭驱动，无驱动气源时执行机构下压钴基合金隔膜压紧PFA阀座，阀门保持关闭；通入60‑120psig洁净驱动气源，活塞抬升，依靠隔膜自身回弹实现阀门开启；切断气源自动复位关闭，实现失气故障安全切断。介质仅接触阀体、金属隔膜、PFA阀座，驱动机构完全隔绝介质流道，无填料函杜绝外泄漏；全扫掠无死角流道，吹扫置换彻底，减少介质残留，高温工况下脉冲剂量重复性高，保障腐蚀性工艺气路稳定通断控制。

核心产品特点

强耐腐蚀接液材质组合，316L VIM‑VAR阀体+钴基超级合金隔膜+高纯PFA阀座，对半导体各类腐蚀性前驱体、特种气体具备优异耐化学性，低颗粒析出、低脱气，满足UHP超高纯系统SC‑01清洗标准。
更高流通能力，高速高频响应，Cv=0.7，开启响应＜5ms，总响应时间＜15ms，支持短脉冲高频动作，循环寿命上亿次，氦质谱检漏优于1×10⁻⁹ std cm³/s，剂量输出一致性好。
高温伴热适配低蒸气压介质，阀体最高200℃，执行器最高150℃，内置热隔离结构，阀体可加装加热棒，有效抑制前驱体冷凝析出，适配高温工艺工况。
兼容多接口，改造便利性强，相同1.5英寸安装 footprint，可直接替换原有ALD3/ALD6阀门，无需大幅改动设备；支持VCR、卡套管对焊、C‑密封表面安装，直通、弯通、多通阀组可选，维护拆装便捷。
故障安全常闭逻辑，失气自动关闭；可选阀位反馈传感器，向PLC回传阀门开关状态，实现远程监控；爆破压力3200psig(220bar)，安全冗余充足，覆盖真空~145psig(10bar)工艺压力区间。
紧凑小型化机身，集成热隔离器，节省反应腔周边狭小安装空间，适配气瓶柜、气源板、设备机台内部集成。