Swagelok世伟洛克 6LVV‑DPHFR4‑P1‑C 气动常闭超高纯高压隔膜阀

产品简介

6LVV‑DPHFR4‑P1‑C属于DPH系列无弹簧气动常闭（NC）超高纯高压隔膜阀，配置两端1/4英寸内螺纹VCR金属面密封接头，阀体采用316L VIM‑VAR真空感应熔炼真空重熔不锈钢，执行SC‑01超高纯清洗规范。采用气动常闭执行机构，无气源供气时阀门保持关闭状态，通入驱动气源阀门开启；继承DPH系列钴基合金隔膜无弹簧结构，流道全吹扫无死区，兼顾高压承压、低颗粒析出、优异氦密封性能，适配半导体气瓶柜、气源模块自动化工艺气路，用于真空‑高压特种气体管路远程切断与通断控制。

工作原理

常闭气动执行机构，无驱动气压输入时，执行机构内部力推动阀杆下压钴基超级合金隔膜压紧PCTFE阀座，阀门维持关闭；通入规定驱动压缩空气，执行机构活塞抬升阀杆，依靠隔膜自身回弹，阀门打开；切断驱动气源，阀门自动复位关闭，实现故障安全关闭逻辑。 介质仅接触阀体、隔膜、阀座，运动部件完全隔离介质流道，消除填料函外泄漏风险；全扫掠平滑内腔，吹扫置换彻底，降低介质残留与交叉污染，VCR金属垫片密封，拆装维护便捷，适配高纯工艺系统反复拆装调试场景。

核心产品特点

1. 气动常闭故障安全设计，失气自动关闭，适合特种气体管路安全联锁，气源故障状态下切断工艺介质，提升气路系统安全等级，适配自动化系统远程控制。

2. 1/4in内螺纹VCR接头，两端内螺纹VCR金属面密封，依靠金属垫片实现密封，拆装重组方便，便于气源面板、测试工装部件更换维护。

3. 高压超高纯阀体性能，316L VIM‑VAR阀体，SC‑01超高纯清洗，电解抛光流道，低脱气、低颗粒产生；室温额定压力3045psig（210bar），可兼容真空工况。

4. 钴基超级合金无弹簧隔膜，抗疲劳，开关循环寿命长，氦质谱检漏性能优异，降低内漏风险，适合工厂7×24小时连续工艺运行；PCTFE封闭式阀座耐介质溶胀，密封稳定性好。

5. 全吹扫无死角流道，内腔平滑过渡，无介质滞留死区，管路吹扫置换效率高，满足UHP超高纯气体系统洁净要求。

6. 标准化气动执行单元，驱动气源70‑120psig（4.9‑8.2bar）；可选配阀位反馈开关，输出阀门开/闭状态信号给PLC，实现阀位状态远程监控；整机结构紧凑，适配气瓶柜狭小空间安装。

主要技术参数

• 型号：6LVV‑DPHFR4‑P1‑C

• 系列：DPH无弹簧高压超高纯隔膜阀

• 驱动方式：气动，常闭NC（失气关闭）

• 阀体材质：316L VIM‑VAR不锈钢

• 隔膜材质：钴基超级合金 UNS R30003

• 阀座材质：PCTFE

• 过程接口：两端1/4 in 内螺纹VCR面密封接头

• 流量系数Cv：0.20

• 工艺压力：室温最高3045 psig（210 bar），兼容真空

• 工作温度：‑23℃～65℃

• 驱动气源压力：70‑120 psig（4.9‑8.2 bar），洁净干燥压缩空气

• 清洗标准：SC‑01超高纯清洗

• 流道形式：直通两通

• 泄漏指标：氦质谱检漏

• 可选配件：阀位反馈开关

• 适用介质：高纯特种气体、惰性气体、兼容接液材质腐蚀性工艺气体

• 认证：CE

典型应用场景

半导体气瓶柜、气源面板自动化切断；超高纯特种气体输送管路远程控制；光伏、显示工艺气体供给系统；锂电新材料特种气体管路；实验室自动化高纯气体测试工装；真空‑高压切换工艺系统；气体分析设备内部自动化气路。