美国 MKS 高性能压力不敏感型流量控制器 P9B

MKS美国P9B属于高性能压力不敏感型多气体多量程质量流量控制器，内置集成压力传感器，依托模型化算法补偿入口压力波动带来的流量偏差，压力系数＜0.02%读数/psi，受管路压力变化影响极低，满量程覆盖5‑50000sccm（N₂当量），内置五十余种气体热力学参数，并非简单修正系数，适配半导体严苛工艺气体精密控制，支持模拟与多种工业数字总线，便于设备自动化集成。

• 型号：P9B

• 设备类型：压力不敏感型数字质量流量控制器MFC，内置压力传感单元

• 满量程范围：5‑50000sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 分辨率：0.1%FS

• 稳定响应时间：＜750ms

• 压力性能：入口压力系数＜0.02%读数/psi；最大入口压力150psig；耐压1000psig；爆破压力1500psig

• 接液材质：SUS316L VAR、Elgiloy合金；密封可选Viton、Kalrez；支持PTFE特氟龙阀塞版本

• 阀门形式：内置常闭控制阀

• 电气接口：0‑5VDC模拟输入输出；数字支持DeviceNet、EtherCAT；内置网页诊断界面

• 管路接口：可选1/4‑VCR、Swagelok等接头规格

• 环境条件：工作温度10‑50℃，湿度0‑95%无冷凝

• 供电：+15~+24VDC

产品特点

1. 压力不敏感设计，集成压力传感器做实时补偿，管路入口压力波动对输出流量干扰极小，适合腔体压力频繁变化的半导体工艺，保障工艺一致性。

2. 真正多气体多量程，内置50种以上气体热力学模型，不依靠简单修正系数，网页界面直接切换气体与量程，无需硬件改动，降低备件库存压力。

3. 响应速度快，短工艺步骤场景下流量快速收敛，兼顾轻气体He与重气体SF₆等各类工艺气体控制。

4. 密封配置丰富，弹性密封、特氟龙阀塞可选，适配普通、强腐蚀反应性工艺气体。

5. 嵌入式网页诊断，无需拆卸设备，读取压力、流量、故障报警等全部信息，维护排查便捷。

6. 模拟、主流工业总线兼备，可对接PLC系统，实现远程流量设定、状态监控。

典型应用场景 半导体刻蚀、薄膜沉积设备供气、等离子工艺、压力波动大的工艺气路、科研实验多种气体配比、光伏精密供气、特种工艺气体流量控制。

同系列区分 GE50A/GM50A系列：普通MFC，无内置压力补偿，压力波动会带来流量偏移； P4B系列：P系列基础款，压力补偿性能弱于P9B； P9B‑MFM：仅流量测量，不带控制阀门。