GE50A013502SBV020 美国 MKS 模拟量 0-5V 直流流量计

MKS美国GE50A013502SBV020属于GE50A系列弹性密封数字质量流量控制器，模拟量采用0‑5VDC直流信号，热式流量传感搭配数字化PID控制算法，支持多气体多量程切换，阀体SUS316L，标配Viton弹性密封，可输出0‑5VDC流量反馈信号，适配普通工艺气体精密流量调节，方便半导体、镀膜设备自动化集成。

• 型号：GE50A013502SBV020

• 设备类型：弹性密封数字式质量流量控制器MFC，0‑5VDC模拟量规格

• 满量程：500sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：≤750ms

• 接液材质：SUS316L VAR，密封件Viton，可选Buna‑N、Neoprene、Kalrez密封件

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig

• 阀门形式：内置常闭控制阀

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟设定、0‑5VDC流量反馈，Modbus‑RS485数字通讯

• 管路接口：1/4‑Swagelok外螺纹

• 环境条件：工作温度10‑50℃，湿度0‑95%无冷凝；存储‑20‑80℃

• 整机重量：约1.4kg

• 认证：CE

产品特点

1. 0‑5VDC模拟输入输出，可直接对接传统模拟控制板卡，无需改造总线，兼容老设备替换升级；同时保留Modbus‑RS485数字接口，兼顾新旧两套控制方案。

2. 多气体多量程功能，内置气体参数库，通过嵌入式网页界面切换气体类型、修改量程，无需硬件改动，降低备件库存。

3. 弹性密封结构，密封材质选型丰富，适配绝大多数非强腐蚀工艺气体。

4. 数字控制算法，响应速度快，入口压力波动对输出流量影响较小，保障供气配比稳定性。

5. 自带嵌入式网页诊断，就地读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

6. 标准3英寸安装基座，可直接替换老款1179A机型，原有管路无需改动，设备改造便捷。

典型应用场景 半导体设备工艺气体供给、光伏扩散与镀膜设备供气、科研实验气体配比、等离子工艺、精细化工气相工艺、自动化设备气体流量模拟信号控制。

同系列区分 GE50A013103SBV020：1000sccm，中大流量弹性密封机型； GM50A系列：全金属密封，无弹性橡胶件，适配高纯、强腐蚀气体； GV50A系列：弹性密封+内置切断阀。