美国MKS GE50A013304S 设定点精度的1%流量计

MKS美国GE50A013304S属于GE50A系列弹性密封数字质量流量控制器，具备1%设定点控制精度，采用热式传感搭配数字化控制算法，内置多气体数据库，支持多气体、多量程切换，阀体为SUS316L，弹性密封结构，密封材质可按需选配，适配普通工艺气体精密流量调控，兼容模拟与Modbus‑RS485数字通讯，便于设备自动化集成改造。

• 型号：GE50A013304S

• 设备类型：弹性密封数字式质量流量控制器MFC

• 满量程：5000sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：≤750ms

• 接液材质：SUS316L VAR，标配Viton密封，可选Buna‑N、Neoprene、Kalrez密封件

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig

• 阀门形式：内置常闭控制阀

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟信号、Modbus‑RS485数字通讯

• 管路接口：1/4‑VCR外螺纹

• 环境条件：工作温度10‑50℃，湿度0‑95%无冷凝；存储‑20‑80℃

• 整机重量：约1.4kg

• 认证：CE

产品特点

1. 1%设定点精度，20‑100%FS区间按照设定值计算精度，相比按满量程计算，大流量工况计量表现更优异，保障工艺供气配比一致性。

2. 多气体多量程功能，内置气体参数库，通过嵌入式网页界面切换气体类型、修改量程，无需硬件改动，降低备件库存。

3. 弹性密封结构，密封件选型丰富，适配绝大多数非强腐蚀工艺气体。

4. 数字控制算法优化，响应速度快，入口压力波动对输出流量影响较小。

5. 自带嵌入式网页诊断，就地读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

6. 标准3英寸安装基座，可直接替换老款1179A机型，原有管路无需改动；模拟、Modbus‑RS485兼备，对接PLC实现远程流量设定与报警输出。

典型应用场景 半导体设备工艺气体供给、光伏扩散、镀膜设备供气、科研实验气体配比、等离子工艺、精细化工气相工艺、自动化设备气体流量控制。

同系列区分 GE50A013103SBV020：1000sccm中小流量弹性密封机型； GM50A系列：全金属密封，无弹性橡胶件，适配高纯、强腐蚀气体； GV50A系列：弹性密封+内置切断阀。