美国 MKS 5-50,000 sccm 质量流量控制器 GE50A013103SBV020

MKS美国GE50A013103SBV020属于GE50A系列弹性密封数字质量流量控制器，量程覆盖5‑50000sccm（N₂当量），采用热式流量传感搭配数字化控制算法，内置多气体数据库，支持多气体、多量程切换，阀体为SUS316L，弹性密封结构，适配普通工艺气体精密流量调节，具备模拟、数字通讯接口，方便设备自动化改造集成。

• 型号：GE50A013103SBV020

• 设备类型：弹性密封数字式质量流量控制器MFC

• 满量程：1000sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：≤750ms

• 接液材质：SUS316L VAR，密封件Viton；可选Buna‑N、Neoprene、Kalrez密封件适配不同气体

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig

• 阀门形式：内置常闭控制阀

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟信号，Modbus‑RS485数字通讯

• 管路接口：1/4‑VCR外螺纹

• 环境条件：工作温度10‑50℃，湿度0‑95%无冷凝；存储‑20‑80℃

• 整机重量：约1.4kg

• 认证：CE

产品特点

1. 多气体多量程功能，内置气体参数库，通过嵌入式网页界面切换气体类型、修改量程，无需改动硬件，降低备件库存。

2. 弹性密封结构，配置丰富密封材质选型，适配绝大多数非强腐蚀工艺气体，安装尺寸通用，可直接替换老款1179A机型，管路无需改动。

3. 数字控制算法，响应速度快，压力波动对输出流量影响小，保障供气工艺稳定性。

4. 自带嵌入式网页诊断，就地读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

5. 模拟与Modbus‑RS485通讯兼备，支持对接PLC，实现远程流量设定、运行状态监控与故障报警输出。

典型应用场景 半导体设备工艺气体供给、光伏扩散与镀膜设备供气、科研实验气体配比、等离子工艺、精细化工气相工艺、各类自动化设备气体流量控制。

同系列区分 GV50A：弹性密封+内置切断阀； GM50A系列：全金属密封，无弹性橡胶件，适配高纯、强腐蚀气体； GE50A013102SBV020：200sccm中小流量弹性密封机型； GE50A013105SBV020：2000sccm更大流量弹性密封机型。