美国 MKS 流量控制器 GM50A013201RBM020 标准闭路电导

MKS美国GM50A013201RBM020属于GM50A系列特氟龙阀塞全金属密封数字质量流量控制器，具备标准闭路电导规格，阀塞采用PTFE特氟龙材质，阀体为电解抛光SUS316L，兼顾耐压性能与耐化学腐蚀能力，内置多气体数据库，热式传感搭配数字化控制算法，阀门关闭状态下闭路泄漏指标优异，适配高纯、腐蚀性工艺气体精密流量调节，支持模拟量与Modbus‑RS485通讯，方便半导体、镀膜设备自动化集成。

• 型号：GM50A013201RBM020

• 设备类型：全金属密封数字式质量流量控制器MFC，PTFE特氟龙阀塞，标准闭路电导规格

• 满量程：20sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：约500ms

• 接液材质：电解抛光SUS316L阀体，PTFE特氟龙阀塞，无橡胶密封圈接触介质

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig

• 阀门形式：内置常闭控制阀，标准闭路电导泄漏小于1.0%FS，氦检漏泄漏＜4×10⁻⁹atm‑cc/sec

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟信号、Modbus‑RS485通讯

• 管路接口：1/4‑VCR外螺纹

• 环境条件：工作温度0‑50℃，湿度0‑95%无冷凝

• 整机重量：约1.4kg

产品特点

1. 特氟龙阀塞耐化学腐蚀，耐受强酸、强碱、各类反应性工艺气体，阀体维持SUS316L金属结构保障耐压强度，避免橡胶件析出污染气体。

2. 标准闭路电导性能优秀，阀门关断后泄漏极低，减少气体窜入腔体，降低工艺报废风险。

3. 内置多气体数据库，借助嵌入式网页界面切换气体类型、修改量程，无需硬件改动，降低备件库存。

4. 数字化控制算法，响应速度快，压力波动对输出流量影响微弱，小流量区间控制分辨率高。

5. 自带嵌入式网页诊断，可就地读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

6. 3英寸标准安装基座，可直接替换老款1479A机型，原有管路无需改动，设备改造便捷；模拟、Modbus‑RS485通讯兼备，可对接PLC实现远程流量设定、状态监控。

典型应用场景 半导体工艺高纯腐蚀性气体供给、PVD/CVD薄膜沉积设备供气、等离子工艺、科研实验特种气体配比、光伏工艺气体供给、精细化工气相工艺、忌有机析出污染的气体定量输送。

同系列区分 GM50A013104RBM020：200sccm，特氟龙阀塞大流量版本； GM50A013201RMM020：20sccm，普通金属阀塞机型； GM51A系列：窄机身金属密封，安装空间受限场景； GV50A系列：弹性密封机型，配置橡胶密封件。