美国 MKS GM50A013104RBM020 带特氟龙阀塞流量计

MKS美国GM50A013104RBM020属于GM50A系列全金属密封数字质量流量控制器，阀塞采用特氟龙PTFE材质，兼顾金属本体结构与特氟龙阀塞耐化学腐蚀优势，内置多气体数据库，热式传感搭配数字化控制算法，流量控制稳定，适配强腐蚀性、高纯工艺气体供给，支持模拟量、Modbus‑RS485通讯，便于半导体、镀膜设备自动化集成。

• 型号：GM50A013104RBM020

• 设备类型：全金属密封数字式质量流量控制器MFC，特氟龙阀塞版本

• 满量程：200sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：约500ms

• 接液材质：电解抛光SUS316L阀体，阀塞PTFE特氟龙材质；无橡胶密封圈接触介质

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500bar

• 阀门形式：内置常闭控制阀，特氟龙阀塞，氦检漏泄漏＜4×10⁻⁹atm‑cc/sec

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟信号、Modbus‑RS485通讯

• 管路接口：1/4‑VCR外螺纹

• 环境条件：工作温度0‑50℃，湿度0‑95%无冷凝

• 整机重量：约1.4kg

产品特点

1. 特氟龙阀塞耐化学腐蚀，可耐受多数腐蚀性、反应性工艺气体，阀体维持SUS316L金属结构，保障耐压与结构强度，规避普通金属阀塞被介质腐蚀的问题。

2. 多气体多量程功能，内置上百种气体参数库，依靠嵌入式网页界面切换气体、修改量程，无需硬件改动，降低备件库存。

3. 数字化控制算法，响应速度快，压力波动对输出流量影响微弱，工艺计量稳定性好。

4. 全流道无弹性橡胶件，减少有机物析出，适配对介质洁净度要求高的半导体、光伏、特种材料工艺。

5. 自带嵌入式网页诊断，无需拆卸设备，直接读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

6. 标准3英寸安装基座，可直接替换老款1479A，原有管路无需改动，设备改造升级便捷；模拟、Modbus‑RS485通讯兼备，对接PLC实现远程调控。

典型应用场景 半导体腐蚀性特种气体供给、PVD/CVD薄膜沉积设备供气、等离子工艺、科研实验腐蚀性气体配比、光伏工艺化学品供给、精细化工气相工艺、忌橡胶有机析出的气体定量输送。

同系列区分 GM50A013101RMM020：10sccm，标准金属阀塞机型； GM50A013102RMM020：100sccm，标准金属阀塞机型； GM51A系列：窄机身版本，安装空间受限工况； GV50A系列：弹性密封，内置切断阀，含有橡胶密封件。