美国 MKS 多量程 GM50A013102RMM020 质量流量控制器

MKS美国GM50A013102RMM020属于GM50A系列多量程全金属密封数字质量流量控制器，采用热式传感搭配数字化控制算法，具备多气体、多量程切换功能，流路电解抛光SUS316L全金属密封，无弹性橡胶密封件，规避有机析出污染，适配高纯、反应性特种气体精密流量调节，可兼容模拟与多种工业总线通讯，便于半导体、镀膜设备自动化集成。

• 型号：GM50A013102RMM020

• 设备类型：全金属密封数字式质量流量控制器MFC，多气体多量程机型

• 满量程：100sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100%FS

• 控制精度：20‑100%FS为±1%设定点；2‑20%FS为±0.2%FS

• 流量重现性：±0.3%读数

• 响应稳定时间：约500ms

• 接液材质：电解抛光SUS316L，全金属密封，无橡胶部件接触介质

• 最大入口压力：150psig；爆破压力1500psig

• 阀门形式：内置常闭金属密封切断阀，氦检漏泄漏＜4×10⁻⁹atm‑cc/sec

• 电气接口：DB15，0‑5VDC模拟信号，Modbus‑RS485通讯

• 管路接口：1/4‑VCR外螺纹

• 环境条件：工作温度0‑50℃，湿度0‑95%无冷凝

• 整机重量：约1.4kg

产品特点

1. 多气体多量程功能，内置百余种气体参数数据库，通过嵌入式网页界面即可切换气体、修改有效量程，无需改动硬件，降低备件库存压力。

2. 全金属密封流道，无弹性体溶出，适合高纯、腐蚀性、对有机物污染敏感的工艺气体，保障介质洁净度。

3. 数字化控制算法，响应速度快，压力波动对输出流量影响小，工艺稳定性好。

4. 自带嵌入式网页诊断，无需拆卸设备，可直接读取运行参数、故障信息，维护排查便捷。

5. 标准3英寸安装基座，可直接替换老款1479A，原有管路无需改动，设备改造升级简单。

6. 模拟、Modbus‑RS485通讯兼备，可对接PLC实现远程流量设定、状态监控与故障报警。

典型应用场景 半导体工艺高纯气体供给、PVD/CVD薄膜沉积设备供气、等离子工艺、科研实验特种气体配比、光伏工艺气体供给、精细化工气相工艺、忌有机析出污染的气体定量输送。

同系列区分 GM50A013101RMM020：满量程10sccm，小流量全金属密封机型； GM51A系列：窄机身金属密封版本，安装空间受限场景； GV50A系列：弹性密封，内置切断阀，含有橡胶密封件。