美国 MKS 数字控制质量流量控制器 GM50A013101RMM020

MKS 美国 GM50A013101RMM020 属于 GM50A 系列全金属密封数字控制质量流量控制器，无弹性橡胶密封件，流路采用电解抛光 SUS316L 金属密封结构，内置多气体数据库，依托热式传感与数字控制算法实现气体精密流量调节，适配高纯、腐蚀性特种气体工艺，可对接模拟与多种工业总线，方便半导体、镀膜设备自动化集成。

• 型号：GM50A013101RMM020

• 设备类型：全金属密封数字式质量流量控制器 MFC

• 满量程：10sccm（N₂当量）

• 控制区间：2%‑100% FS

• 控制精度：20‑100% FS 为 ±1% 设定点；2‑20% FS 为 ±0.2% FS

• 流量重现性：±0.3% 读数

• 响应稳定时间：约 500ms

• 接液材质：电解抛光 SUS316L，全金属密封，无橡胶密封圈

• 最大入口压力：150psig；爆破压力 1500psig

• 阀门形式：内置常闭金属密封切断阀，氦检漏泄漏＜4×10⁻⁹atm‑cc/sec

• 电气接口：DB15，0‑5VDC 模拟信号，Modbus‑RS485 数字通讯

• 管路接口：1/4‑VCR 外螺纹

• 环境条件：工作温度 0‑50℃，湿度 0‑95% 无冷凝

• 整机重量：约 1.4kg