布鲁克斯Brooks Instrument 紧凑型数字质量流量控AMF-MC7S1D

AMF 系列（Advanced Mass Flow）是一款超紧凑型数字质量流量控制器，专为在空间受限的系统中实现精确的气体流量控制而设计。该产品专为生物加工、薄膜制造及先进工业应用而开发，在超小体积内集成了高性能、多气体兼容性和先进的诊断功能介质类型Gas流量测量原理Thermal (TMF)流量范围Up to 27 slpm, 27,000 sccm精度范围±0.6% of S.P. (20 -

型号： AMF-MC7S1D

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介质类型	Gas
流量测量原理	Thermal (TMF)
流量范围	Up to 27 slpm, 27,000 sccm
精度范围	±0.6% of S.P. (20 - 100% F.S.), ±0.12% F.S. (<20% F.S.)
重复性	±0.25% of S.P.
最大压力	150 psi
工作温度	0 - 65°C
测量/控制	Measure & Control (Controller)
密封选项	Elastomer
最高温度	65 celsius
连接方式	EtherNet/IP

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布鲁克斯Brooks Instrument 紧凑型数字质量流量控AMF-MC7S1D