布鲁克斯Brooks Instrument AMF-CC7S1Y 气体流量计
Features & Benefits出色的低流量稳定性，±0.6%的准确度，±0.25%的重复性： AMF 专为低流量应用优化，可提供稳定、可重复的气体输送，支持那些需要严格控制和极小波动的敏感工艺。卓越的传感器稳定性： 传感器具有长期稳定性，可最大限度地减少漂移，从而减少频繁重新校准的需要，并有助于保持稳定的工艺性能。超低泄漏率与卓越的阀门关闭性能，泄漏量< 0.005 sccm
- 型号： AMF-CC7S1Y
Features & Benefits
出色的低流量稳定性，±0.6%的准确度，±0.25%的重复性： AMF 专为低流量应用优化，可提供稳定、可重复的气体输送，支持那些需要严格控制和极小波动的敏感工艺。
卓越的传感器稳定性： 传感器具有长期稳定性，可最大限度地减少漂移，从而减少频繁重新校准的需要，并有助于保持稳定的工艺性能。
超低泄漏率与卓越的阀门关闭性能，泄漏量< 0.005 sccm： 先进的阀门技术可最大限度地减少泄漏，并确保可靠的关闭性能，从而有助于维持系统纯度、提高产率并降低气体消耗。
宽广的控制范围： 高达 1000:1 的调节比使单个质量流量控制器能够在从低流量到高流量的各种工况下提供精准、稳定的性能，从而减少了使用多台设备的必要性。
高级诊断与警报： 内置诊断功能和可配置的警报可实时监控设备性能，从而在潜在问题影响生产流程之前及时发现并解决。
嵌入式网页界面与以太网连接：Ethernet/IP™ 通信和集成的基于 Web 的界面，使得配置、监控以及与现代控制系统的集成变得轻松便捷。
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | Up to 27 slpm, 27,000 sccm |
| 精度范围 | ±0.6% of S.P. (20 - 100% F.S.), ±0.12% F.S. (<20% F.S.) |
| 重复性 | ±0.25% of S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 0 - 65°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 密封选项 | Elastomer |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 连接方式 | EtherNet/IP |