优势传感器的长期稳定性可降低对维护和定期校准的要求，从而降低总体经营成本布鲁克斯仪器独有的热感测技术可提供绝佳的信噪比性能从而提升低设定值条件下的测量和控制精度选择一个设备平台即可满足不同气体和流量范围的需求可存储并预先设定多达六种气体校准信息，用户仅需一台设备即可在不同气体和量程间轻松切换并减少库存对用户开放的服务端口简化了安装、故障排除和诊断操作并且不会干扰流量控制器工作耐用、稳定的金属顶盖可
传感器的长期稳定性可降低对维护和定期校准的要求，从而降低总体经营成本
布鲁克斯仪器独有的热感测技术可提供绝佳的信噪比性能从而提升低设定值条件下的测量和控制精度
选择一个设备平台即可满足不同气体和流量范围的需求
可存储并预先设定多达六种气体校准信息，用户仅需一台设备即可在不同气体和量程间轻松切换并减少库存
对用户开放的服务端口简化了安装、故障排除和诊断操作并且不会干扰流量控制器工作
耐用、稳定的金属顶盖可防止设备在安装期间受损
多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
基于国际标准的高级计量系统和初级校准系统可确保设备精度
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | .003 - 2500 slpm |
| 精度范围 | Up to ±0.6% of S.P. (20-100% FS)±0.12% of FS (<20% FS) |
| 调节比 | 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm: 50:1 |
| 重复性 | 0.20% S.P. |
| 最大压力 | 1500 psi |
| 工作温度 | -14°C - 65°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 2500 slpm |
| 最大工作压力 | 310 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（占流量百分比） | ±0.6%, ±0.9% |
| 连接方式 | RS485, DeviceNet, EtherCAT, Profibus, EtherNet/IP, PROFINET, Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), Analog (4–20 mA) |
