介质类型Gas流量测量原理Pressured-based (P-MFC)流量范围3 sccm - 50,000 sccm精度范围Zero Leak Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.), Metal Seal Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F.
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Pressured-based (P-MFC) |
| 流量范围 | 3 sccm - 50,000 sccm |
| 精度范围 | Zero Leak Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.), Metal Seal Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F. S. (2-5% F.S.) |
| 调节比 | Zero Leak Valve: 0.5 - 100% F.S., Metal Seal Valve: 2 - 100% F.S. |
| 重复性 | < ±0.15% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 10°C - 60°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 50 slpm |
| 最大流量 | 50000 sccm |
| 最大工作压力 | 10 bar |
| 最高温度 | 60 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485 |
GP200差压技术消除了对两个独立压力传感器进行匹配和补偿的要求，从而降低了测量不确定度，提高了测量精度、重复性和漂移性能。
如今，借助 P-MFC，在较低进气压力下也能实现更安全的晶圆厂运行，这得益于专门针对低压差测量进行优化的 GP200 压差传感器。
下游阀门结构确保了精度不受下游压力影响，从而能够在高达 1200 Torr 的压力下输送流体。快速关闭阀门解决了上游 MFC 阀门设计中常见的非生产性配方等待时间（即“尾效”），因为后者需要额外时间来排空其内部气体。
超快的上升和下降流速稳定时间以及极高的重复性，使得在先进的高循环沉积和刻蚀工艺中能够实现更严格的工艺控制。
阀门关闭性能提升100倍
借助 MultiFloTM 技术，MFC 的满量程流量范围通常可按 3:1 的比例缩小，且不会影响精度、调节比或泄漏量（符合规格要求），从而实现工艺和库存管理的最大灵活性
便捷的用户显示屏和独立的诊断/服务端口有助于设备的安装、监控和故障排除
