美国布鲁克斯Brooks Instrument

美国布鲁克斯Brooks 真实差压测量器GP200-P0013045L

功能真实差压测量低入口压力运行下游阀结构匹配的瞬态响应零泄漏控制阀MultiFloTM 该技术提供了无与伦比的灵活性——只需对单台设备进行编程,即可实现数千种不同的气体和流量范围配置,且无需将MFC从气路上拆下,也不会影响测量精度本地显示屏显示流量、温度、压力和网络地址DeviceNetTM, 经 ODVA 认证, EtherCAT®, RS-485 L协议和模拟接口应用半导体制造蚀刻化学气相沉

  • 型号: GP200-P0013045L
功能
  • 真实差压测量

  • 低入口压力运行

  • 下游阀结构

  • 匹配的瞬态响应

  • 零泄漏控制阀

  • MultiFloTM 该技术提供了无与伦比的灵活性——只需对单台设备进行编程,即可实现数千种不同的气体和流量范围配置,且无需将MFC从气路上拆下,也不会影响测量精度

  • 本地显示屏显示流量、温度、压力和网络地址

  • DeviceNetTM经 ODVA 认证,  EtherCAT®, RS-485 L协议和模拟接口

应用
  • 半导体制造

  • 蚀刻

  • 化学气相沉积(CVD)

  • 需要高纯度全金属流道的气体流量控制应用


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