美国布鲁克斯Brooks GF120-CSLO一体式电磁流量计
优势按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作 – 不再需要拆除并校准 MFC高度可配置平台可使大部分品牌的金属密封 MFC 实现插入式更换和升级，适用范围包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌产品G
- 型号： GF120-CSLO
优势
按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性
表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥
MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作 – 不再需要拆除并校准 MFC
高度可配置平台可使大部分品牌的金属密封 MFC 实现插入式更换和升级，适用范围包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌产品
GF120 安全输送系统 (SDS®) 是布鲁克斯仪器公司最先进的低压损质量流量控制器，适用于输送注入和势垒层腐蚀过程中使用的次大气压安全输送系统 (SDS) 气体
便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除