美国布鲁克斯Brooks Instrument

美国布鲁克斯Brooks GF80-CXXC-SH40 010C 流量控制器

对于许多工业和半导体加工过程,性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点:设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术,该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外,金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势,原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯

  • 型号: GF80-CXXC-SH40 010C

对于许多工业和半导体加工过程,性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点:设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术,该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外,金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势,原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度,同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。

介质类型Gas
流量测量原理Thermal (TMF)
流量范围3 sccm - 55 slpm
精度范围±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. < 5-35%
调节比< 5% - 100%
重复性< ±0.2% S.P.
最大压力150 psi
工作温度5°C - 50°C
测量/控制Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter)
最大流量55 slpm
最高温度50 celsius
密封选项Metal
精度(占流量百分比)±1.0%
连接方式Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (4–20 mA)


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