特点长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%1 秒内稳定全量程流量可达55升/分钟全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范内嵌式常规
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
1 秒内稳定
全量程流量可达55升/分钟
全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
带有 VCR 配件的细线体设计
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 55 slpm |
| 精度范围 | ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. < 5-35% |
| 调节比 | < 5% - 100% |
| 重复性 | < ±0.2% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 5°C - 50°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 55 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (4–20 mA) |
